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电容式测微传感器

传感技术 | 发布时间:2019-03-07 | 人气: | #评论# | 本文关键字:电容,传感器,电容式测微器,电容式测微传感器
摘要:电容式测微器: 利用电容效应,当对象至传感器间之距离改变时,即会改变电容值,应用此一原理可撷取待测对象细微几何形状之尺寸。由于电容效应存在于各个物质间,因此在传感器的设计上

电容式测微器:利用电容效应,当对象至传感器间之距离改变时,即会改变电容值,应用此一原理可撷取待测对象细微几何形状之尺寸。由于电容效应存在于各个物质间,因此在传感器的设计上必需考虑到噪声防治的保护措施,如图(a)所示之结构图在传感器外围加上两层封装以杜绝外界干扰,图(b)则为传感器的等效电路图。电容式测微器由于利用电容效应因此分辨率相当高,一般电容式传感器的量测范围为±0.13mm,分辨率为0.1μm,精确度则为全刻度之0.1-0.2%,同时电容式测微器为非接触式量测,因此理论上寿命为无限长。
电容式测微传感器结构封装示意图
(a)电容式测微传感器结构封装示意图
电容式测微传感器等效电路图
(b)电容式测微传感器等效电路图

责任编辑:电容式测微传感器

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